傾角傳感器的在線溫度補(bǔ)償

傾角傳感器，也叫傾角儀，水平儀等，主要用于載體角度的測(cè)量和角度的調(diào)整，MEMS傾角傳感器具有體積小、重量輕、低功耗、多功能等優(yōu)點(diǎn)，在新能源、地質(zhì)災(zāi)害、土木工程、工程機(jī)械，航空航天等行業(yè)中得到了廣泛應(yīng)用。

傾角傳感器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用方便，因而市面上也是層出不窮，百花齊放。但是，傾角傳感器的使用過(guò)程中繞不開(kāi)二個(gè)問(wèn)題，其一是運(yùn)動(dòng)（震動(dòng)）影響，其二是溫度影響，

傾角傳感器中，標(biāo)稱中精度（精度0.01°），其溫度影響大概是0.003°/℃-0.005°/℃；標(biāo)稱高精度（精度0.005°-0.001°），其溫度影響大概是0.0007°/℃-0.001°/℃。由以上數(shù)據(jù)可知，中精度傾角傳感器溫度變化3℃，其精度就被淹沒(méi)，高精度傾角傳感器溫度變化2℃，其精度就被淹沒(méi)。在使用傾角傳感器的過(guò)程中，*溫度變化10℃再正常不過(guò)，因而僅僅簡(jiǎn)單的談?wù)摼纫讶徊缓线m。

由于工作環(huán)境溫度的改變，就會(huì)導(dǎo)致測(cè)量精度的變化，特別是在一些高精度測(cè)量要求下，則失去其測(cè)量的效果，所以須采取相應(yīng)措施來(lái)消除或者減小隨溫度變化而引起的誤差，即須對(duì)傳感器進(jìn)行溫度補(bǔ)償。

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